#自主实验

日本NTT利用AI驱动实验室实现次世代功率半导体材料的自主成膜突破

日本NTT成功开发出结合AI与机器人技术的自主成膜系统，首次用溅射法制备出高品质β型氧化镓单晶薄膜，推动功率半导体材料研究迈出重要一步。